EC Sense 爱氪森科技 ES1 硅烷气体传感器 ES1-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器
ES1 硅烷气体传感器 ES1-SiH4-50ppm
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2025-11-13 22:28:56
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ES1 硅烷气体传感器 ES1-SiH4-50ppm
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EC Sense 爱氪森科技
产品概述
EC Sense 爱氪森科技 ES1 硅烷气体传感器 ES1-SiH4-50ppm 是一款高精度、高灵敏度的气体传感器，适用于硅烷（SiH4）气体的检测。该传感器采用安倍三电极工作原理，具备线性输出特性，适用于0-50ppm量程范围内的硅烷浓度测量，广泛应用于半导体制造、工业气体监测等领域。
核心特点/优势
- 高灵敏度：60 nA/ppm ± 15 nA/ppm，确保微小浓度变化的精准检测
- 高分辨率：0.01ppm，满足高精度检测需求
- 快速响应：T50 < 25s，T90 < 90s，适应动态检测场景
- 宽环境适应性：工作温度范围-40至+55℃，湿度范围15-95%RH
- 低功耗设计：暖机时间<60s，推荐负载电阻100Ω
- 长寿命与稳定性：预期寿命>3年，长期漂移<1%/月
应用领域
- 半导体制造过程中的硅烷气体浓度监测
- 工业环境中的气体泄漏检测
- 实验室及科研机构的高精度气体分析
选型指南/使用建议
建议在推荐工作温度和湿度范围内使用，避免冷凝环境。推荐负载电阻为100Ω，以获得最佳输出信号。传感器需在通电后60秒内完成暖机，方可进行准确测量。长期使用中需定期校准以确保测量精度。
ES1 硅烷气体传感器 ES1-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 偏压 | 0 mV | |
| 储存温度范围 | 0至20℃ | |
| 分辨率 | 0.01ppm | |
| 响应时间 | T50 < 25s，T90 < 90s | |
| 外壳材质 | PPO | |
| 工作压力范围 | 800 到 1200 hPa | |
| 工作原理 | 安倍，三电极 | |
| 工作温度范围 | -40至+55℃ | |
| 工作湿度范围 | 15-95%RH，非冷凝 | |
| 推荐负载电阻 | 100 Ω | |
| 暖机时间 | < 60s | |
| 灵敏度 | 60 nA/ppm ± 15 nA/ppm | |
| 线性度 | 线性 | |
| 质保期 | 12个月 | |
| 过载限额 | 100ppm | |
| 重复性 | 1% | |
| 重量 | < 0.7g | |
| 量程 | 0-50ppm | |
| 长期漂移 | < 1%/月 | |
| 零点漂移 | < 2ppm | |
| 零点电流 | ± 100 nA | |
| 预期寿命 | > 3年 |
资料下载
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