EC Sense 爱氪森科技 ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器
ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm
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2025-11-13 18:39:22
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ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm
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产品概述
EC Sense 爱氪森科技 ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm 是一款高精度、高灵敏度的气体传感器,适用于硅烷(SiH4)气体的检测。该传感器采用安倍三电极工作原理,具备优异的线性度和重复性,适用于工业气体监测、半导体制造等场景。
核心特点/优势
- 高灵敏度:60 nA/ppm ± 15 nA/ppm,可精准检测低浓度硅烷气体
- 宽量程:0-50ppm,支持过载至100ppm
- 快速响应:T50 < 25s,T90 < 90s
- 高稳定性:长期漂移<1%/月,零点漂移<2ppm
- 宽环境适应性:工作温度-40至+55℃,湿度15-95%RH
- 轻量化设计:重量<6g,便于集成
应用领域
- 半导体制造过程中的硅烷气体监测
- 工业气体泄漏检测与安全监控
- 实验室及科研机构的气体浓度测量
选型指南/使用建议
推荐使用100Ω负载电阻,确保传感器在推荐工作条件下运行。传感器需在-40至+55℃、15-95%RH(非冷凝)环境中使用,建议在使用前进行60秒暖机时间以确保测量精度。适用于需要高精度、高稳定性的硅烷气体检测场景。
ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 偏压 | 0 mV | |
| 储存温度范围 | 0至20℃ | |
| 分辨率 | 0.01ppm | |
| 响应时间 | T50 < 25s,T90 < 90s | |
| 外壳材质 | PPO | |
| 工作压力范围 | 800 到 1200 hPa | |
| 工作原理 | 安倍,三电极 | |
| 工作温度范围 | -40至+55℃ | |
| 工作湿度范围 | 15-95%RH(非冷凝) | |
| 推荐负载电阻 | 100 Ω | |
| 暖机时间 | < 60s | |
| 灵敏度 | 60 nA/ppm ± 15 nA/ppm | |
| 线性度 | 线性 | |
| 质保期 | 12个月 | |
| 过载限额 | 100ppm | |
| 重复性 | < 1% | |
| 重量 | < 6g | |
| 量程 | 0-50ppm | |
| 长期漂移 | < 1%/月 | |
| 零点漂移 | < 2ppm | |
| 零点电流 | ± 100 nA | |
| 预期寿命 | > 3年 |
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