EC Sense 爱氪森科技 ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器

ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm

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2025-11-13 18:39:22
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产品概述

EC Sense 爱氪森科技 ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm 是一款高精度、高灵敏度的气体传感器,适用于硅烷(SiH4)气体的检测。该传感器采用安倍三电极工作原理,具备优异的线性度和重复性,适用于工业气体监测、半导体制造等场景。

核心特点/优势

  • 高灵敏度:60 nA/ppm ± 15 nA/ppm,可精准检测低浓度硅烷气体
  • 宽量程:0-50ppm,支持过载至100ppm
  • 快速响应:T50 < 25s,T90 < 90s
  • 高稳定性:长期漂移<1%/月,零点漂移<2ppm
  • 宽环境适应性:工作温度-40至+55℃,湿度15-95%RH
  • 轻量化设计:重量<6g,便于集成

应用领域

  • 半导体制造过程中的硅烷气体监测
  • 工业气体泄漏检测与安全监控
  • 实验室及科研机构的气体浓度测量

选型指南/使用建议

推荐使用100Ω负载电阻,确保传感器在推荐工作条件下运行。传感器需在-40至+55℃、15-95%RH(非冷凝)环境中使用,建议在使用前进行60秒暖机时间以确保测量精度。适用于需要高精度、高稳定性的硅烷气体检测场景。

ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器选型参数

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偏压 0 mV
储存温度范围 0至20℃
分辨率 0.01ppm
响应时间 T50 < 25s,T90 < 90s
外壳材质 PPO
工作压力范围 800 到 1200 hPa
工作原理 安倍,三电极
工作温度范围 -40至+55℃
工作湿度范围 15-95%RH(非冷凝)
推荐负载电阻 100 Ω
暖机时间 < 60s
灵敏度 60 nA/ppm ± 15 nA/ppm
线性度 线性
质保期 12个月
过载限额 100ppm
重复性 < 1%
重量 < 6g
量程 0-50ppm
长期漂移 < 1%/月
零点漂移 < 2ppm
零点电流 ± 100 nA
预期寿命 > 3年

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ES4 硅烷气体传感器 ES4-SiH4-50ppm ES1/ES4气体传感器资源附件
文件名称 大小 操作
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