产品概述
Metallux ME509 系列是昂思菲特（Angst+Pfister）提供的高灵敏度、低量程的压阻式陶瓷压力传感器，适用于表压、绝对压力或差压测量。该传感器采用陶瓷基板和冲压膜片结构，基于压阻原理工作，具有高可靠性、高灵敏度和低压力测量能力。
该传感器的惠斯通电桥印刷在陶瓷膜片的一侧，并通过腔体结构使膜片另一侧直接暴露于被测介质中，从而提高灵敏度。由于其采用Al₂O₃陶瓷材料，具有优异的化学抗性，无需额外保护。
该产品适用于需要精确测量低压力值的工业和科研场景，如工业自动化、环境监测、医疗设备、汽车测试和精密仪器。
核心特点/优势
- 高灵敏度，适用于低压力测量
- 优异的耐腐蚀和耐磨性能
- 热补偿设计，确保在宽温度范围内高线性度
- 支持多种压力类型（表压、绝对压力）
- 可定制化选项，包括材料、连接方式和温度补偿等级
- 符合REACH、RoHS和无冲突矿物标准
应用领域
- 工业自动化系统中的压力监测
- 环境监测设备中的气体或液体压力测量
- 医疗设备中的呼吸机、输液泵等精密压力控制
- 汽车测试中的气压或油压测量
- 科研和实验室中的低压力测量
选型指南/使用建议
ME509 系列提供多种压力范围（0.2 bar、0.5 bar、1.0 bar）和连接方式（5针、4针、焊接垫、电缆等），可根据具体应用场景选择合适的型号。建议在-40°C至+135°C的温度范围内使用，并确保供电电压在2V至30V之间。
如需更高精度或特殊材料（如蓝宝石），可提出定制需求。此外，可选配Parylene涂层以增强防护性能。
ME509-Series 压力传感器芯体选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 供电电压 | 2...30 VDC | |
| 偏移量 | -0.1±0.1 mV/V | |
| 压力接口 | 无接口 | |
| 压力类型 | 绝对压力, 表压 | |
| 可靠性测试 | 1000小时@85°C & 85%RH, 500次热冲击-40°C...+150°C, 1000小时@150°C, 1000万次压力循环 | |
| 响应时间 | ≤1 ms | |
| 存储温度 | -40...+150 °C | |
| 工作温度 | -40...+135 °C | |
| 总厚度 | 5.22 mm (0.206 in), 5.29 mm (0.208 in), 5.37 mm (0.211 in) | |
| 桥路阻抗 | 11±30% kΩ | |
| 测量范围 | 0.2 ... 1 bar | |
| 温度范围 | -40...+135 °C | |
| 温度补偿 | 可用 | |
| 灵敏度 | ≥ 2.0 mV/V | |
| 热偏移补偿 | ≤±0.02 / ±0.06 %FS/K | |
| 热跨度偏移 | Min. -0.040, Typ. -0.020, Max. 0 %FS/K | |
| 爆裂压力 | 0.5 bar (7 psi), 1.3 bar (19 psi), 2.5 bar (36 psi) | |
| 电流消耗 | ≤1.3 mA @10V | |
| 真空能力 | NA, -0.1 bar (-1 psi), -0.3 bar (-4 psi) | |
| 精度 | 1.3 / 2.5 %FS | |
| 输出类型 | 差分 mV/V | |
| 过载压力 | 0.4 bar (6 psi), 1.0 bar (14 psi), 2.0 bar (29 psi) | |
| 重量 | ≤17 g (仅陶瓷传感器) |
产品替代
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资料下载
ME509-Series 压力传感器芯体资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| ME509_1610-21813-0002-E-1124 | 482.28 KB | 下载 |
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