产品概述
PFLOW5002 / PFLOWC5002 系列气体质量流量控制器适用于通用气体流量监测和控制应用。该系列产品提供标准或歧管配置的机械连接方式，可选配定制管道的歧管块。其工作压力可达1.0 MPa（10 bar或150 psi），补偿温度范围为-5至+50°C。该产品采用昂思菲特专有的MEMS热式质量流量传感技术，通过测量流体的热传导和扩散特性来实现高精度的流量测量。
核心特点/优势
- 采用专有MEMS热式传感技术，提供更高的线性度和温度性能。
- 可自动识别预编程气体，无需手动气体转换系数。
- 支持多种气体测量，无需额外校准。
- 提供模拟和数字接口，便于系统集成。
- 具有高动态范围（100:1，最高可达1000:1）。
- 支持Modbus RTU通信协议，便于远程控制和数据采集。
- 传感器表面采用氮化硅陶瓷材料和防水/防油纳米涂层，提高可靠性和耐用性。
应用领域
- 工业仪表
- 医疗设备
选型指南/使用建议
产品型号由主型号和后缀组成，后缀表示可选参数。例如，PFLOWC5002-200ACU-NCE-00-A1 是一个满量程为200 sccm、空气、100:1动态范围、单向流量、无模拟输出、数字RS232 EIA接口、直连选项、1/8英寸FNPT连接的质量流量控制器。
使用时需注意以下事项：
- 避免在外部电源开启时插拔电缆，以免损坏电子芯片。
- 确保工作环境无污染，避免影响测量精度。
- 产品出厂时默认地址为1，通信波特率为38400 bps。
- 写保护功能默认启用，防止意外数据丢失。
- 建议在使用前预热60秒以获得最佳性能。
PFLOW5002 / PFLOWC5002 热式流量传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 供电电压 | 8...24 VDC | |
| 动态范围 | 100:1，最高可达1000:1 | |
| 合规认证 | RoHS, REACH, CE (IEC 61000-4-2, 4-8) | |
| 存储温度范围 | -20...+70 ℃ | |
| 工作温度范围 | -5...+50 ℃ | |
| 工作电流 | 50 mA | |
| 接口类型 | DB9, RS232, RS485 Modbus | |
| 最大压力 | 1.0 MPa (150 psi) | |
| 最大流量变化率 | 500 sccm/sec (<1000模型); 3000 sccm/sec (<6000模型); 7500 sccm/sec (<20000模型) | |
| 最大溢流 | 3000 sccm (3 SLPM) (<1000模型); 18000 sccm (18 SLPM) (<6000模型); 80000 sccm (80 SLPM) (<20000模型) | |
| 校准条件 | 空气 @ 0°C, 101.325 kPa | |
| 泄漏率 | <1×10⁻⁶ He atm cc/sec | |
| 波特率 | 38400 bps | |
| 测量范围 | 0.05...20 SLPM | |
| 湿度范围 | 0...95% RH，无冷凝 | |
| 精度 | ±1 r.d. 或 ±0.2 f.s，取较大者 | |
| 设定时间 | <150 msec | |
| 输出信号 | 0.5...4.5 VDC, RS232, RS485 Modbus | |
| 通信协议 | Modbus RTU | |
| 重复性 | 0.20% |
产品替代
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PFLOW5002 / PFLOWC5002 热式流量传感器资源附件
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