Omron EE-SPY801 Optical Switches, Reflective, Photo IC Output

产品概述

Omron EE-SPY801 是一款反射型光电开关，采用940 nm红外光源，适用于晶圆载具的安装检测。该传感器通过检测载具底部的肋条结构，实现稳定可靠的反射式检测。其光电IC输出设计，具备良好的抗干扰能力，适用于半导体制造等高洁净度环境。

核心特点/优势

• 采用反射式检测方式，无需对射结构，安装简便。
• 940 nm红外光源，具备良好的穿透性和抗环境光干扰能力。
• 感应距离为3 mm，适用于晶圆载具等小型物体的检测。
• 支持12 V至24 V宽电压供电，适应性强。
• 开放集电极输出，兼容多种负载类型。
• 采用特殊化学耐受性氟树脂接触面，适用于腐蚀性环境。
• 内置光调制技术，有效减少外部光线干扰。
• 响应时间短，仅为5 ms，适合高速检测。

应用领域

• 晶圆载具安装检测
• 半导体制造设备
• 自动化生产线中的物体存在检测
• 洁净室环境下的非接触式检测

选型指南/使用建议

建议搭配EE9-C01或EE9-C02底座使用，以确保传感器安装稳固。安装时应选择平整表面，并使用最大0.30 N·m的紧固力。若需延长电缆，应使用截面积为0.15 mm²的电缆，总长度不超过5 m。若需更长电缆，应在5 m范围内加装约10 μF的电容。

传感器应在-10°C至+55°C、湿度5%至85%（无冷凝）的环境下使用。避免在含盐空气或腐蚀性气体（如氯化氢）环境中使用。