产品概述
红外气体传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR)，能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体，兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测，能够减少清洁时间，节约成本，提高产量。
核心特点/优势
- 采用NDIR技术，实现多气体监测，支持SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体
- 响应时间快，灵敏度高
- 无耗材设计，维护成本低
- 支持模拟/数字通信，模块化设计，便于系统集成
应用领域
- 半导体沉积工艺中的气体浓度监测
- 半导体清洗工艺中的端点检测
- 腔室清理终端检测
SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2 气体仪器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 检测原理 | NDIR | |
| 检测气体 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 | |
| 检测限 | 1ppm | |
| 线性 | ±1%F.S. | |
| 重复性 | ±0.5% | |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
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