产品概述
Honeywell HAFBLF0750C4AX5 是一款高精度气体质量流量传感器，采用热传导原理进行质量流量测量。该传感器内置热隔离加热器和温度传感元件，能够快速响应气体或空气流量变化。传感器基于 MEMS 微桥结构，采用铂和氮化硅薄膜沉积的温度敏感电阻，确保在精确设计的气流通道中提供可重复的流量响应。
该传感器提供数字 I²C 接口，支持 ±50 SCCM 至 ±750 SCCM 的标准流量范围，并可根据客户需求定制流量范围。传感器在 -20 °C 至 70 °C 的宽温度范围内工作，并在 0 °C 至 50 °C 范围内进行温度补偿。其高精度、低压力损失和快速响应时间使其适用于医疗、工业等高要求应用。
核心特点/优势
- 总误差带 (TEB) 低至 0.25% FSS，提供高精度流量测量
- 响应时间 1 ms，适用于对响应速度要求高的医疗和工业应用
- 支持 ±50 SCCM 至 ±750 SCCM 的标准流量范围，也可定制
- 数字 I²C 接口，简化系统集成
- 内置温度补偿和校准，减少外部信号调理组件
- 低功耗设计，支持 3.3 Vdc 和 5.0 Vdc 供电
- 高稳定性、线性输出和低压力损失
- 符合 RoHS 标准，适用于环保要求高的应用
应用领域
- 医疗：麻醉机、心室辅助设备、雾化器、氧气浓缩器、患者监测系统、睡眠呼吸机、肺活量计、呼吸机、腹腔镜
- 工业：空气燃料比控制、燃料电池、气体泄漏检测、VAV 系统、气体计量、HVAC 过滤器
选型指南/使用建议
建议在传感器上游安装 5 微米过滤器，以防止颗粒物和冷凝水损坏传感器。安装时应使用 5-40 螺丝固定，长端口样式建议使用 0.68 N·m [6 in-lb] 扭矩。O 型圈推荐使用 70 硬度的硅胶，尺寸为 0.125 英寸内径、0.250 英寸外径。传感器支持 I²C 通信，建议在启动后等待 17 ms 再进行首次读取，并在第二次读取前等待 10 ms。
HAFBLF0750C4AX5 气体质量流量传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| RoHS 合规 | 符合 Directive 2002/95/EC | |
| 供电电压 | 3.3 Vdc ±10% 或 5.0 Vdc ±10% | |
| 分辨率 | 12 位最小 | |
| 启动时间 | 17 ms | |
| 响应时间 | 1 ms 典型值 | |
| 封装材料 | 高温聚合物、PCB、环氧树脂、硅、金 | |
| 尺寸 | 小型化设计 | |
| 工作温度范围 | -20 °C 至 70 °C [-4 °F 至 158 °F] | |
| 总误差带 (TEB) | 低至 0.25% FSS | |
| 抗冲击性 | 100 g, 11 ms | |
| 抗振动性 | 15 g (20 Hz 至 2000 Hz) | |
| 接口类型 | I²C 数字输出 | |
| 最大共模压力 | 25 psi (25 °C) | |
| 最大功耗 | 40 mW (3.3 Vdc) / 65 mW (5.0 Vdc) | |
| 最大流量 | 10 SLPM | |
| 校准气体 | 氮气 | |
| 测量范围 | ±50 SCCM 至 ±750 SCCM | |
| 温度补偿范围 | 0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] | |
| 湿度范围 | 0% 至 95% RH，非冷凝 | |
| 静电放电 (ESD) | MIL-STD 883G 第 3B 类 | |
| 预热时间 | 30 ms |
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资料下载
HAFBLF0750C4AX5 气体质量流量传感器资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| haf-series-digital-±50-sccm-to-±750-sccm-high-accuracy-datasheet-32308684-a-en | 1.23 MB | 下载 |
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