Panasonic 松下电器机电 M-DW1 光学传感器 - 反射式 - 逻辑输出

产品概述

松下 M-DW1 是一款反射式光学传感器，专为半导体晶圆检测设计。该传感器采用 LED 光源，通过反射光的位置而非光量进行晶圆检测，从而确保操作人员的安全并提高检测精度。适用于 3 英寸或更大尺寸的晶圆，支持多种表面处理（如氮化膜、氧化膜）的晶圆检测。

核心特点/优势

• 采用 LED 光源，避免激光对操作人员的直接照射，提高安全性。
• 使用双段接收元件，通过反射光位置检测晶圆，减少因晶圆厚度或反射光量变化带来的影响。
• 响应时间短至 500 μs，满足高速高精度检测需求。
• 支持 4 级灵敏度调节（MAX, HIGH, MID, LOW），适应不同反射率的晶圆。
• 支持 NPN/PNP 输出，可通过开关切换。
• 具备短路保护和自动恢复功能，提高系统稳定性。
• 支持外部灵敏度选择输入和光发射控制功能，增强系统灵活性。

应用领域

• 半导体晶圆制造过程中的晶圆定位与检测。
• 晶圆边缘识别与厚度检测。
• 适用于 SEMI 标准 FOUP 晶圆盒和开放式晶圆盒。
• 适用于工业自动化生产线中的晶圆识别与处理。

选型指南/使用建议

建议在工业环境中使用，避免直接暴露于强光、灰尘、油污或有机溶剂中。安装时需确保传感器与晶圆边缘保持 45 mm 距离，并以 12.5° 角度安装。电源接线前务必关闭电源，避免错误接线导致损坏。电缆可扩展至 10 m，但为减少干扰，建议尽量缩短。使用时应避免与高压线或电源线共用线槽。