Omron 欧姆龙集团 F03-16SF-100M 液位传感器

产品概述

Omron F03-16SF-100M 液位传感器是一款高精度、高化学抗性的液位检测设备，适用于半导体制造、食品加工、工业清洗等多种场景。该传感器采用 AC 检测方法，能够稳定检测阻抗高达 50 MΩ 的液体，包括纯水和 IPA 等低导电性液体。传感器通过感应带检测液体泄漏或液位变化，具备高灵敏度和抗干扰能力。

核心特点/优势

• 支持阻抗高达 50 MΩ 的液体检测，适用于多种液体类型。
• 内置噪声消除电路，采用三芯电缆连接，提供高抗干扰能力。
• 感应带采用 SUS316 不锈钢和聚乙烯材料，具有优异的化学抗性。
• 支持四种检测范围选择，适应不同液体特性。
• 支持多台设备在同一位置安装，电源电路与检测电路隔离。
• 具备断线检测功能，可实时监控传感器连接状态。
• 响应时间短，最大 800 ms，适合快速检测需求。

应用领域

• CMP 设备测量槽液泄漏检测，防止设备损坏和晶圆清洗异常。
• 半导体生产安装中的冷凝和液体泄漏检测，确保设备运行安全。
• 液体化学品储罐管道接头泄漏检测，防止环境污染和设备损坏。
• 镀膜设备清洗液液位检测，实现高精度控制，防止清洗异常。

选型指南/使用建议

根据液体阻抗选择合适的检测范围（0-250 kΩ、0-600 kΩ、0-5 MΩ、0-50 MΩ），并根据安装环境选择合适的感应带型号（如 F03-16PE、F03-16PT、F03-16SF 等）。建议使用 3 芯屏蔽电缆连接，以提高抗干扰能力。在爆炸性环境中使用多个传感器时，需确保测量槽接地。感应带长度可根据需求定制，最大支持 100 m。