Omron 欧姆龙集团 F03-16SFC-100M 液位传感器

产品概述

Omron F03-16SFC-100M 液位传感器是一款高精度、高灵敏度的液位检测设备，适用于多种液体环境，包括高阻抗液体（最高可达50 MΩ）和常见水溶液。该传感器采用AC检测方法，结合内部振荡电路，有效防止电极腐蚀，确保长期稳定运行。产品适用于半导体制造、食品加工、化学储罐等多种工业场景。

核心特点/优势

• 支持最高50 MΩ阻抗液体的稳定检测，适用于低导电性液体（如IPA、纯水）。
• 提供4种可选检测范围，确保适配不同液体特性。
• 内置噪声消除电路，采用3芯电缆设计，具备高抗干扰能力（专利技术）。
• 电源电路与检测电路隔离，支持在同一位置安装多个放大器。
• 传感带采用SUS316不锈钢芯和聚乙烯护套，具有优异的耐酸碱和化学腐蚀性能。
• 支持多种安装方式，包括贴片式和螺丝固定式，便于灵活部署。

应用领域

• CMP设备测量槽液泄漏检测：检测漏液至排水盘，防止设备损坏和晶圆清洗异常。
• 半导体生产装置冷凝和泄漏检测：检测清洗设备内部冷凝和周围液体泄漏。
• 液化化学品储罐管道接头泄漏检测：通过缠绕传感带检测管道接头处的液体泄漏。
• 镀膜设备清洗液液位检测：高灵敏度检测纯水液位，实现高精度控制，防止清洗异常。

选型指南/使用建议

建议根据液体阻抗特性选择合适的检测范围（通过DIP开关设置）。传感带长度可根据需求选择，最长可达100米（具体型号支持长度请参考表格）。安装时需确保良好接地，特别是在防爆区域使用多个传感器时。配套使用F03-20终端块、F03-26PES或F03-26PEN贴片式安装件，以确保连接稳定。