产品概述
英国真尚有的 ZM106 系列边缘传感器采用了先进的 "阴影" 原理技术,是成本效益型边缘检测的领先选择。该传感器由控制器和测量探头两部分组成,后者包括发射器和接收器两个模块。这种双重设置允许一个控制器配备两套测量探头,简化了在两个不同位置测量边缘的过程。ZM106 系列边缘传感器专为非接触式测量和监控而设计,可精确检测胶带、电路板和基板等各种物体的边缘位置。
核心特点/优势
- ±20um 的高测量精度,1um 的重复性,确保测量结果的可靠性
- 7mm 的测量范围,适用于多种边缘检测场景
- 控制器支持直接数字显示,无需额外设备,提升使用便捷性
- 测量探头小巧轻便,安装灵活,发射器与接收器最大间距可达 30mm
- 非接触式测量方式,避免对被测物体造成干扰或损伤
应用领域
- 晶圆制造:用于检测硅晶圆边缘的划痕、裂纹或污染等缺陷
- 光刻:确保光刻过程中边缘对齐的精度
- 蚀刻:监控蚀刻边缘的完整性
- 封装:检测封装边缘的对齐和完整性
- 组装:用于电路板、胶带等材料的边缘定位
选型指南/使用建议
建议根据测量对象的边缘宽度和安装空间选择合适的探头间距。控制器支持直接数字显示,无需额外显示设备,适合集成于自动化检测系统中。安装时应确保发射器与接收器之间无遮挡,以保证测量精度。适用于洁净室、半导体制造车间等对精度和稳定性要求较高的环境。
ZM106激光千分尺 长度角度传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 重复性 | 1µm | |
| 更多规格 | ||
| Max Probe Spacing | 30mm | |
| Measurement Accuracy | ±20µm |
产品替代
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