真尚有科技 ZM106激光千分尺 传感器

边缘测量传感器 ZM106 工件边缘确认,就找英国真尚有

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2026-10-29 09:43:20
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产品概述

英国真尚有的 ZM106 系列边缘传感器采用了先进的 "阴影" 原理技术,是成本效益型边缘检测的领先选择。该传感器由控制器和测量探头两部分组成,后者包括发射器和接收器两个模块。这种双重设置允许一个控制器配备两套测量探头,简化了在两个不同位置测量边缘的过程。ZM106 系列边缘传感器专为非接触式测量和监控而设计,可精确检测胶带、电路板和基板等各种物体的边缘位置。

核心特点/优势

  • ±20um 的高测量精度,1um 的重复性,确保测量结果的可靠性
  • 7mm 的测量范围,适用于多种边缘检测场景
  • 控制器支持直接数字显示,无需额外设备,提升使用便捷性
  • 测量探头小巧轻便,安装灵活,发射器与接收器最大间距可达 30mm
  • 非接触式测量方式,避免对被测物体造成干扰或损伤

应用领域

  • 晶圆制造:用于检测硅晶圆边缘的划痕、裂纹或污染等缺陷
  • 光刻:确保光刻过程中边缘对齐的精度
  • 蚀刻:监控蚀刻边缘的完整性
  • 封装:检测封装边缘的对齐和完整性
  • 组装:用于电路板、胶带等材料的边缘定位

选型指南/使用建议

建议根据测量对象的边缘宽度和安装空间选择合适的探头间距。控制器支持直接数字显示,无需额外显示设备,适合集成于自动化检测系统中。安装时应确保发射器与接收器之间无遮挡,以保证测量精度。适用于洁净室、半导体制造车间等对精度和稳定性要求较高的环境。

ZM106激光千分尺 长度角度传感器选型参数

规格项 参数值 勾选搜索替代
性 能
重复性 1µm
更多规格
Max Probe Spacing 30mm
Measurement Accuracy ±20µm

产品替代

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