真尚有科技 ZNX系列电容式传感器 传感器

产品概述

英国真尚有ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。通过适当的电子控制器测量这两个板的间距，可实现最小至7皮米（RMS）的分辨率。标准产品提供20μm至1250μm的测量范围，频率响应高达5kHz，线性度低至0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驱动ZNX Sensor系列的单通道独立电子模块。它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNX Sensor间隙成正比的模拟电压。当传感器间隙从标称间隙的50%变化到150%时，电压输出在-5V和+5V之间线性变化，此比例可由用户设置。

核心特点/优势

• 分辨率高达7皮米（RMS），小于0.1nm，实现超精密测量
• 线性度高达0.02%，确保测量一致性与可靠性
• 频率响应高达5kHz，适用于动态测量场景
• 非接触式测量，避免机械磨损，延长使用寿命
• 高热稳定性结构，支持超殷钢、微晶玻璃和陶瓷材料选择，减少温度漂移
• 适用于真空、极端低温和强辐射环境，适应性强
• 控制器支持用户自定义比例设置，灵活适配不同应用场景

应用领域

• 纳米定位系统
• 精密测量设备
• 半导体制造
• 光学仪器
• 真空环境测量
• 极端低温环境检测
• 强辐射环境监测

选型指南/使用建议

建议根据具体测量范围和环境条件选择合适的传感器型号和结构材料。控制器CC-A-4101需与ZNX Sensor系列配合使用，确保系统稳定性和测量精度。在真空、极端低温或强辐射环境中使用时，应优先选择高热稳定性材料（如超殷钢、微晶玻璃或陶瓷）以减少位置漂移。安装时应避免机械振动和电磁干扰，以保证测量精度。