真尚有科技 ZM105.2D投影图像测量仪 点激光/激光位移传感器

产品概述

英国真尚有科技ZM105.2D二维投影图像测量仪是一款基于图像投影法的高精度视觉传感器，适用于高速、在线、批量测量各种复杂工件的二维线性尺寸、角度、形状等参数。该设备通过将图像投影到二维CMOS传感器上，分析阴影边界位置以确定物体边缘，从而实现高精度轮廓检测。

该产品特别适用于喷油器等复杂高精度工件的测量，也广泛应用于半导体制造、质量控制和缺陷检测等领域。

核心特点/优势

• 高速测量：每秒最多可检测130个工件，满足在线批量检测需求。
• 高精度：最小测量误差仅为±1.5 μm，确保测量结果的可靠性。
• 图像投影法：计算效率高，内存占用少，适合处理形状不规则和有噪声的图像。
• 多方向边缘检测：可同时检测多个方向的边缘，适用于特定方向检测需求。
• 长距离测量：发射器与接收器间距可定制，适合需要较长距离的应用。

应用领域

• 喷油器等复杂高精度工件的测量。
• 半导体制造过程中的晶圆边缘检测。
• 光刻工艺中的掩膜图案检测。
• 蚀刻工艺中的图案检查。
• 质量控制与缺陷检测。
• 在线批量测量。

选型指南/使用建议

推荐根据工件尺寸和测量距离选择合适的型号，如ZM105.2D-25x30型适用于标准间距为250 mm的应用。使用时需确保环境光线稳定，避免强光干扰。设备支持定制化配置，可根据客户具体需求调整发射器与接收器间距。