产品概述
真尚有科技 KD5100 电涡流位移传感器是一款基于差动电涡流原理的高精度非接触式位移测量设备，具有纳米级分辨率和卓越的热稳定性。该传感器采用坚固结构设计，适用于极端环境，包括高温、低温和真空条件。其小尺寸封装（2 x 2.12 x 0.75 英寸）使其成为空间受限应用的理想选择。
核心特点/优势
- 每通道两个精确匹配的传感器，实现1nm分辨率
- 超耐热，长时间稳定性达1.27×10^-4 mm/月
- 支持低温环境测量（液氮环境）
- 超高灵敏度，最高可达394 mV/µm
- 低功耗设计，系统功耗小于2W
- 适用于10^-6 Torr真空环境
- 无需定期维护和调整，便于拆卸更换
应用领域
- 超高精度宇航应用
- 中继镜片激光定位（RME）
- 激光反射镜聚焦平台定位
- 半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦
- 精确望远镜定位
- 磁悬浮轴定位
- 低温（液氮环境测量金属位移变化）
- 真空应用（传感器和控制器均可用于10^-6 Torr真空环境）
选型指南/使用建议
根据测量范围选择15N或20N型号，15N适用于±0.889mm测量，20N适用于±1.905mm测量。传感器适用于-52~+105℃工作温度，低温20N传感器可支持4K至220°F环境。系统功耗低，适合对功耗敏感的应用。适用于真空环境（10^-6 Torr），无需特殊工具即可拆卸更换。
KD5100 电涡流位移传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 传感器功耗 | 15N传感器：<50μW，20N传感器：<1.5mW | |
| 储存温度 | 前置器：-32~+82℃，传感器：-52~+105℃，低温20N传感器：+4K~+220°F(+105℃) | |
| 工作温度 | 前置器：-20~+60℃，传感器：-52~+105℃，低温20N传感器：+4K~+220°F(+105℃) | |
| 测量范围 | 15N: ±0.889mm，20N: ±1.905mm | |
| 热灵敏度 | <5mV/°C | |
| 系统功耗 | <2W | |
| 线性度 | ±0.1~±0.5% | |
| 输入电压 | ±15Vdc | |
| 输出电压 | 最大±10V | |
| 输出电阻 | 5Ω @5mA | |
| 重量 | 前置器：70g，15N-001传感器：17.3g，20N传感器：16.8g | |
| 长期稳定性 | 1.27×10^-4 mm/月 | |
| 频率响应 | 22kHz±5% |
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