离子注入是制造半导体的关键步骤。高能注入可以加热晶圆并导致导致产量降低的问题。在注入过程中监测晶圆的温度，以确定所需的晶圆冷却量。小直径、快速响应、弹簧加载的热电偶（如上图所示）是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。
Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度探头选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 物 理 | ||
| 探头配置 | Straight Probe | |
| 更多技术信息 | ||
| 所用基础元件 | Thermocouple | |
| 更多规格 | ||
| 传感器终端类型 | Plug or Quick Connect | |
| Probe Features | Available as an Assembly | |
| 产品类别 | Temperature Probes |
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