要：研究了应用于微型全固态薄膜锂离子电池的氧化锌（ＺｎＯ）负极薄膜材料的微加工制备与电化学储能特性。采用射频磁控溅射法制备ＺｎＯ 薄膜，之后采用Ｘ 射线衍射（ＸＲＤ）、扫描电子显微镜（ＳＥＭ）及能量色散Ｘ 射线光谱仪（ＥＤＳ）对制得的ＺｎＯ 薄膜进行表征分析，得到生成的ＺｎＯ 薄膜为纳米颗粒结构，沿（００２）晶面平行于基底择优生长。循环伏安（ＣＶ）测试和恒电流充放电测试表明，该ＺｎＯ 负极薄膜具有较好的电化学稳定性和反应可逆性，电化学阻抗谱（ＥＩＳ）测试显示薄膜具有较好的电化学反应动力学。研究结果表明：采用磁控溅射法制备的ＺｎＯ 负极薄膜质地紧密、与基底紧密接触、结晶度高、电化学储能性能良好，可作负极薄膜用于微型全固态薄膜锂离子电池中。