ＭＥＭＳ高ｇ值压阻式加速度计仿真分析

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ＭＥＭＳ高ｇ值压阻式加速度计仿真分析

作者：张贺帅，张　哲

（石家庄财经职业学院交通工程学院，河北石家庄０５００００）

时间： 2026-07-16

研究的ＭＥＭＳ高ｇ值加速度计，是一种可用于检测强烈振动与大冲击信号的核心电子元器件。首先，研究了压阻式加速度计的压阻原理，设计了本文加速度计敏感结构；然后，根据敏感结构的应力变化规律，确定压敏电阻的排布，同时，制定了其后续的硬件电气连接关系；其次，进一步分析设计的加速度计结构的加工流程，并对其进行了必要的封装；最后，仿真结果表明：该加速度计量程可达到１００００ｇｎ，灵敏度为３９．６２ μＶ／ｇｎ，一阶固有频率为２８０４９Ｈｚ。

被引用: 7次

年份: 2026年

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高ｇ值；压阻式；加速度计；仿真