灵敏度是气敏传感器的关键性能指标之一，而控制半导体薄膜微观分形特征是提升其灵敏度指标的方法之一。本文引入分形维数表征ＳｎＯ２ 薄膜的微观结构和气敏性能，研究了退火温度和退火时间对薄膜分形特征和灵敏度的影响。分形分析和以乙醇为目标气体的实验结果表明，在退火温度为５００ ℃且退火时间为３ ｈ 的气敏传感器具有最高的分形维数１． ８３６ ５ 和对乙醇有最大灵敏度０． ０８５ ８０。研究表明：分形维数可以表征薄膜的气敏性能，可以通过改变制备参数以调控ＳｎＯ２ 薄膜的分形特征，从而获得具有最佳分形维数和灵敏度的薄膜。