在电容压力传感器阵列检测过程中，寄生电容和传感器阵列串扰问题会对检测精度产生重要影响，因此，相关的抑制方法研究对于柔性电子、医疗诊断等前沿应用至关重要。研究基于交流激励式电容检测原理，提出一种用于优化交叉电极式柔性电容阵列微小电容检测精度的检测方法，实现将５ ～３０ ｐＦ范围内的微小电容检测最大相对误差控制在１ ％以内；此外，通过分析寄生电容和传感器阵列串扰对输出电压的影响机理，研究还证实了不同长度线缆、不同接线方式和温度漂移对检测结果的影响，提出了寄生电容和阵列串扰的抑制方法与对应的电荷传输物理机制，并基于多元线性回归模型的拟合方法，提高其在不同环境温度下的检测精度和鲁棒性。研究结果为高精度、高鲁棒性的柔性电容压力传感器阵列检测提供了重要参考。