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TC Wafer在PVD/ CVD薄膜沉积工艺中的应用之一，就是腔体均温性校准，通过内置温度传感器阵列的晶圆，实时测量腔体内温度，帮助工程师调整加热器分区功率、气体流量分布等参数，确保沉积薄厚度均匀性

2026-06-08 10:23:00 #温度传感器
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