聊聊金属溅射薄膜压力传感器的那些事儿

压力传感器多种多样，今天我们一起来看看金属溅射薄膜压力传感器，聊聊溅射膜压力的特点、优缺点和应用市场，欢迎有相关经验的朋友分享自己的经验、看法和观点。

溅射膜压力传感器，是采用离子束溅射和刻蚀技术，在不锈钢弹性膜片上制作薄膜电阻构成惠斯通电桥，流体压力作用在不锈钢弹性膜片上，使之产生形变，引起电阻值变化，电桥输出与压力成比例的电信号，通过一系列的信号处理和误差修正，转换为标准的电信号输出，从而实现对压力的测量。

溅射膜压力传感器制作中的一些关键技术包括：弹性膜片的材料及加工、溅射薄膜制备技术、光刻和激光调阻技术、产品稳定性技术（包括弹性体应力、薄膜内应力、产品装配应力提前加速去除、薄膜晶格及结构缺陷稳定性处理等），这些都是制溅射膜压力传感器大批量低成本生产的瓶颈。

溅射膜压力传感器主要的优点是受温度的影响较小，温度性能远优于扩散硅式压力传感器，例如，温度变化100摄氏度时，其零点温漂仅为千分之五水平，这一特性特别适合对高温高湿的恶劣应用场合。

因为制造工艺要求高，目前常见的溅射膜压力传感器应用，较多的出现在航空航天、国防军工，石油化工、工程机械液压传动等环境恶劣的应用场景，市场呈现出造价高、用量小、品质要求高的特点，亟需企业在制造工艺上努力攻关，降低生产制作成本，在尽量少牺牲性能指标的情况下实现对产品的大批量生产。