溅射金属基高精纳米膜芯体： 采用MEMS加工工艺，尺寸小，纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上，在增大量程范围的同时，实现了敏感元件和弹性体的原子结合，最大限度的降低了传感器的蠕变、迟滞和老化，提高了产品在恶劣环境下的长期稳定性和可靠性。