上海集迦电子科技有限公司 致力于泛半导体行业高端传感器，量测系统的研发和制造，
提供领先的荧光式光纤温度传感器、In-situ晶圆量测传感器(振动、水平度、位置、湿度、温度等多物理量)、其他物理量测试方案。
公司具有雄厚的科研和制造实力，拥有多位资深的专家和经验丰富的传感器研发团队。
晶圆原位温度及其他物理量传感器是现代集成电路设备和芯片生产制程中必要的检测工具，广泛用于工艺腔体类设备的调试、芯片制造工艺验证等，是提高晶圆良率和产量的利器。
其应用场景覆盖光刻、干刻、薄膜沉积、离子注入、清洗、封测等先进制程和工艺。晶圆传感器具有独特的设计和可客制化制造的特点。
主要产品
TC WAFER、RTD WAFER (Or MASK)、无线晶圆温度传感器、无线晶圆温度传感器、无线晶圆水平振动传感器、无线晶圆多功能传感器、无线晶圆卡盘定位仪、无线晶圆间隙传感器、无线晶圆聚焦环间隙测量仪、荧光式光纤温度传感器、高精度探头
应用领域
半导体行业、家电行业、电力行业、微波工业领域、生命科学领域、变压器温控器
