新型超薄柔性温度传感器突破材料兼容性瓶颈
中国科学院新疆理化技术研究所孔雯雯研究员团队近期在柔性传感领域取得重要进展。该团队通过创新的“水溶性牺牲层辅助转移”策略，成功解决了高性能敏感材料与柔性基底之间在制程温度上的兼容性问题，并制备出厚度仅为40微米的超薄柔性温度传感器。相关成果已发表于国际知名期刊《ACS 应用材料与界面》。
该研究的核心在于将敏感材料所需的高温工艺与其在柔性基板上的集成过程分步实施。这种工艺分离的方式，确保了材料在制造过程中可以获得必要的高温退火处理，同时又避免了传统柔性材料在高温下可能出现的性能劣化，从而为无机敏感材料与柔性衬底的高效结合开辟了新路径。
为了保证材料转移后界面的稳定性和性能，研究人员结合有限元仿真与实验验证，设计了GeO₂/Ta₂O₅/MCO多层异质界面结构。该结构有助于精确调控界面性能，显著降低了界面间的热应力不匹配与元素扩散效应，从而增强了传感器在复杂环境下的结构稳定性与长期可靠性。测试结果表明，该传感器具有高达-4.1%/℃的电阻温度系数（TCR），响应时间为192毫秒，并在多次弯曲和热冲击条件下仍能保持稳定输出。
该研究不仅推动了超薄柔性温度传感器的性能提升，也为未来可穿戴设备、电子皮肤等柔性智能传感系统的开发提供了重要的技术支撑。
（来源：《中国科学报》 2025-12-22 第3版 综合）