珠海首条6英寸MEMS芯片生产线正式通线
1月15日，云际芯光（珠海）微电子有限公司在珠海金湾区三灶镇定家湾片区举行了MEMS芯片生产线通线仪式。此举标志着珠海市首条6英寸MEMS芯片生产线正式投入运行。据悉，该项目总投资逾2.5亿元，建设周期约一年，成功构建起涵盖研发、中试到量产的完整闭环，创下行业内建设周期最短、通线速度最快的纪录，填补了珠海在MEMS芯片制造环节的空白。
该6英寸MEMS芯片产线集研发、中试与量产功能于一体，配备百级及千级洁净车间，并部署了光刻、薄膜沉积、干法刻蚀、键合等关键制造工艺设备，具备全流程自主生产能力。产线主要面向SMR滤波器、高基频石英晶振等核心产品，为规模化量产提供了坚实支撑。
成立于2023年11月的云际芯光，专注于压电MEMS芯片的设计、研发与制造，构建了覆盖SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高精度压力传感器等多元产品矩阵。公司致力于打破国外在高端频率器件及传感器领域的长期垄断格局。截至目前，企业已提交30余项专利申请，建立起涵盖芯片设计、工艺开发、封装测试的全流程研发体系。
云际芯光相关人士表示，选择金湾区作为生产基地，得益于珠海市及金湾区在集成电路产业上的持续投入和政策扶持。作为粤港澳大湾区的重要区域，金湾区近年来不断推进半导体产业链的完善，但在MEMS制造环节仍存在短板。此次产线的投产，不仅提升了企业自身的产能基础，也与本地设计、封装和终端应用企业形成了协同效应，推动珠海打造更具特色和竞争力的半导体工艺产业生态。
随着产线进入正式运行阶段，云际芯光已与多家业内头部企业达成战略合作关系。其产品将广泛应用于5G/6G通信、卫星导航、汽车电子及工业传感等关键场景。
展望未来，企业将继续加强压电MEMS领域的技术攻关，加快高性能国产芯片的市场化进程，为推动中国半导体产业的自主可控和高端化发展注入“芯”动力，同时也为珠海建设粤港澳大湾区半导体产业重要基地增添关键支撑。