芯上微装完成对上海微电子旗下企业的全资收购
天眼查最新披露的信息显示，近期上海威耀实业有限公司（简称“威耀实业”）发生重大工商变更。原股东上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）已退出股东行列，其全部股权由上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）接盘，认缴出资额达2.285亿元。
公开资料显示，芯上微装成立于2025年，是上海微电子在战略调整背景下分拆设立的独立实体。该公司专注于具备快速市场化潜力的设备开发，而上海微电子则继续聚焦于前道核心工艺设备的研发。2025年8月，芯上微装成功交付500台步进光刻机。同年11月，其自主研发的首台350nm步进光刻机AST6200完成出厂调试及验收。
业内分析认为，当前上海微电子正处于资产结构优化的关键时期。据现有信息显示，其前道光刻设备相关业务已注入上海宇量昇科技有限公司，后道封装光刻设备则独立运营为芯上微装，而上海微电子本身则专注于极紫外（EUV）等下一代光刻技术的探索。芯上微装此次对威耀实业的收购，被认为是在整合上海微电子相关资产，推动其形成一个独立的产业化平台，同时也是整体资产拆分战略中的重要一环。
目前，上海微电子与芯上微装均未就上述分析发表官方回应。