微型化突破！MEMS超声波气体流量传感器引领精密测量新时代
在工业制造、能源计量以及医疗设备等多个关键领域，实现气体流量的高精度测量对于优化流程控制、提高能效以及确保运行安全至关重要。然而，传统流量传感技术常常受限于机械振动和温度波动等环境因素，尤其在低速流或极微量气体流动的情况下，其测量稳定性与准确性难以满足现代工业日益提升的需求。
与此同时，随着设备小型化和集成化趋势的不断深化，传统传感器在有限空间内实现高精度和高稳定性的流量测量也面临挑战。
MEMS微型化：结构集成的技术基石
“MEMS+超声波”组合在多个方面展现出显著优势。以先进MEMS技术为核心，奥迪威开发的超声波气体流量传感器实现了传感器单元的高度微型化和系统集成。
该传感器体积仅为2.8 x 2.8 x 1 mm（约7.84 mm³），相较传统超声波传感器（直径16 mm，高度12 mm，体积约为1500 mm³），其体积缩小了超过190倍。这种超小型设计完美契合智能燃气表、便携式检测仪器以及嵌入式系统等对空间要求极高的应用场景。
与PCB集成：实现规模化部署的保障
MEMS制造工艺确保了传感器核心组件的一致性和可重复性，为批量生产奠定了坚实基础。该产品还支持与PCB一体化集成，显著减少了制造成本和能耗，提升了系统整体性能。
dTOF测量法：实现无干扰高精度计量
该传感器采用差分飞行时间（dTOF）原理，通过测量声波在顺流与逆流方向上传播的时间差，直接推算气体流速。这一方法有效规避了机械式传感器的磨损和漂移问题。
由于不依赖活动部件，dTOF法能够在测量过程中保持流道通畅，不干扰原始流动结构，从而确保测量结果的真实性和可靠性。
此外，该技术对气体成分和浓度的变化不敏感，适用于多种气体介质，如天然气、燃气、氢气以及其他特种气体，具有广泛的应用兼容性。
450kHz高频与号筒设计：提升微流量感知能力
在实现微型化的同时，传感器还搭载了450kHz高频发射模块与定制号筒结构，显著增强了对微流量的感知能力。
高频声波具有短波长，能够捕捉到低速流动中微小的涡流和动量变化，精确识别纳秒级别的相位差异，为气体泄漏检测提供高精度数据支撑。
优化信噪比设计：适应小管径测量
通过集束式号筒结构实现声波聚焦，该传感器在空气介质中仅需30dB增益即可获得完整信号输出。这种设计大幅提升了信噪比，特别是在小管径（DN15以下）场景下，有效解决了传统传感器在低流速条件下信号衰减的问题。
应用场景：开启精密测量新纪元
超声波燃气表
适用于居民和工业燃气计量，具有高精度、长寿命、抗振动、防篡改以及低功耗等特点。
医疗设备气体流量监测
在呼吸机、麻醉机等设备中，提供稳定、无菌且可靠的气体流量监测，满足医疗环境对精度和安全的高要求。
工业制造气体计量
在化工、半导体等领域，该传感器可用于过程气体、特种气体以及废气排放的精准监控与闭环控制。