微型化突破！MEMS超声波气体流量传感器开启精准测量新纪元
在工业制造、能源计量及医疗设备等关键应用中，气体流量的精准测量对流程控制、能源效率优化和系统运行安全起着决定性作用。传统流量传感方案对机械振动、温变等环境因素高度敏感，同时在微流量或低速流动条件下，其测量精度与稳定性存在明显短板。
随着设备向小型化与高度集成方向发展，传统传感器在有限空间内实现高精度、高稳定性的流量监测面临挑战。
MEMS微型化：实现结构高度集成的关键基础
“MEMS+超声波”技术的融合展现出显著优势，与传统传感器相比具备更高的适应性与可靠性。在此趋势下，奥迪威推出的基于先进MEMS技术的超声波气体流量传感器应运而生，其核心突破在于通过MEMS工艺实现了传感器单元的极致微型化与高集成度。
该传感器体积仅为2.8×2.8×1 mm（约7.84 mm³），相较常规超声波传感器的典型尺寸（直径16 mm、高度12 mm，体积约1500 mm³），体积缩小超过190倍。这种超小型化设计，为智能燃气表、便携式检测仪器及嵌入式测量系统等空间受限的应用场景提供了理想解决方案。
与PCB一体化集成，提升制造效率
MEMS制造工艺保障了传感器核心部件的高一致性与可重复性，为规模化部署提供了坚实基础。该产品还可直接与PCB集成，不仅提升了生产效率，也有效降低了制造成本与能耗。
dTOF测量原理：精准无扰的流量计量
该传感器基于差分飞行时间（dTOF）测量原理，通过对比顺流与逆流声波传播时间差，精确计算气体流速。该方法完全摒弃了传统机械式仪表中易磨损或漂移的活动部件，从而显著提升了测量精度与设备寿命。
由于无需移动结构，测量过程中流道完全开放，不会干扰气体流场，从而确保了测量数据的真实性和可靠性。
此外，dTOF法对气体成分和浓度的变化不敏感，可广泛用于天然气、燃气、氢气等多种气体介质，具备高度的通用性与稳定性。
高频与号筒结构：助力微流量精准感知
传感器在微型化设计的基础上，进一步采用450 kHz谐振频率与专用号筒结构，显著提升了在微流量场景下的性能表现。
高频声波具备短波长特性，能够对低速流动中的微小涡流和动量变化保持高度响应，从而实现纳秒级别的声波相位变化检测，为气体泄漏监测提供详实数据。
通过集束号筒对声波的聚焦与约束，在空气介质中只需30 dB的信号放大即可实现全幅输出，大幅提升了信噪比。此设计尤其适用于小口径（DN15以下）管道环境，有效解决了传统传感器在低流量条件下面临的信号衰减问题。
典型应用：推动多行业精准测量升级
- 超声波燃气表：适用于住宅与工业领域的燃气计量，具备防篡改、抗干扰和低功耗等优势。
- 医疗设备气体流量监测：可用于呼吸机、麻醉机等医疗仪器中，实现无菌、稳定且精准的气体流速控制。
- 工业制造气体计量：广泛应用于化工、半导体等行业，对过程气体、特种气体及尾气排放进行高精度监测与控制。