微型化技术推动MEMS超声波气体流量传感器开启精准测量新篇章
在工业制造、能源计量以及医疗设备等领域，气体流量的精确检测对于优化流程控制、提升能效水平以及保障系统运行安全至关重要。传统流量传感方案往往面临诸多挑战，例如环境中的机械振动、温度波动等不利因素，都会对测量结果产生影响。同时，这类技术在低流速或微流量工况下的表现也存在显著局限。
随着设备向小型化与集成化方向发展，传统流量传感器在空间受限的场景中难以兼顾测量精度与长期稳定性。
MEMS（微机电系统）技术的引入，为流量检测提供了全新的技术路径。
MEMS与超声波技术融合，带来多重优势
MEMS与超声波技术的结合，相较于传统流量传感方式展现出多项显著优势，特别是在测量精度、结构紧凑性以及适应复杂工况方面。
奥迪威推出的MEMS超声波气体流量传感器，正是基于先进MEMS制造工艺开发，其核心突破在于实现了传感器单元的高度集成与极致微型化。
体积缩小至190分之一，适应严苛空间条件
该传感器尺寸仅2.8 x 2.8 x 1 mm，体积约为7.84 mm³，相比传统超声波传感器（直径16 mm、高度12 mm，体积约1500 mm³），体积缩小超过190倍。这种高度微型化的设计，使其能够完美融入智能燃气表、便携式检测设备以及嵌入式系统等对空间要求极为严苛的应用场景。
与PCB集成，提升生产效率与可靠性
得益于MEMS工艺的高一致性与可重复性，该传感器具备良好的量产基础。其与PCB的集成设计不仅简化了装配流程，还大幅降低了制造成本与能耗。
采用差分飞行时间（dTOF）测量法
该传感器基于差分飞行时间（differential Time of Flight, dTOF）原理工作，通过比较声波在顺流与逆流方向上传播的时间差，直接推算气体流速。这种方式完全避免了机械结构带来的磨损与漂移问题。
无机械部件，确保测量真实性
采用dTOF技术的传感器无需任何活动部件，因此不会对气流通道造成干扰，保持原有流场的完整性，确保测量结果真实可靠。
气体成分适应性强，拓宽适用场景
该传感器的测量精度不受气体成分或浓度变化的影响，适用于天然气、燃气、氢气以及其他特种气体等多种介质，提升了数据的通用性与稳定性。
高频率与号筒结构设计，提升微流量检测能力
在实现微型化的同时，该产品还通过450 kHz的高谐振频率与专用号筒结构的结合，显著增强了其在微流量条件下的测量能力。
纳秒级声波相位检测，提升灵敏度
高频率声波具备更短的波长，对微小气流扰动具有极高灵敏度，能够检测纳秒级别的相位变化，为气体泄漏检测提供准确的数据支持。
优化信噪比设计，增强测量可靠性
通过集束号筒对声波进行有效聚焦与约束，在空气介质中仅需30 dB增益即可实现全幅输出。此设计显著提升了信噪比，尤其适用于小管径（DN15以下）等传统传感器难以覆盖的低流量工况。
应用广泛，推动多行业升级
- 超声波燃气表：具备高精度、长寿命、抗振动和低功耗等优势，适用于居民和工业燃气计量。
- 医疗设备气体流量监测：可稳定、无菌地监测呼吸机、麻醉机等设备中的气体流速，保障患者安全。
- 工业制造气体计量：适用于化工、半导体等行业，用于过程气体、特种气体及排放气体的精准监测与控制。