扩散硅型压力传感器的主要特点分析

压力传感器种类较多,其工作原理也不一样,从而使得,在不同的情况下使用不同的压力传感器。

  压力传感器种类较多,其工作原理也不一样,从而使得,在不同的情况下使用不同的压力传感器。今天就请传感器专家网来介绍扩散硅型压力传感器的应用的相关内容,我们一起来了解一下吧。

  

  扩散硅型压力传感器的应用

  扩散硅压力传感器的特点

  1、适合制作小量程的传感器

  硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。

  2、输出灵敏度高

  硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。

  3、精度高

  由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。

  4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片最大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。

  5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。

  6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。

  

  扩散硅型压力传感器的应用

  通过以上传感器专家网的介绍我们了解了扩散硅型压力传感器的特点的相关内容。压力传感器适用于各种行业中,为我们的生活带来了便利,我们要好好利用。

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