大族激光:研发光刻机 今年有望实现小批量销售

来源:电子技术应用_资讯
大族激光回复表示,公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,今年有望实现小批量销售。

  近日,互动平台有投资者提问大族激光:公司在光刻机领域目前都有哪些研究进展?与国内哪些光刻机厂商有哪些合作?

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  对此,大族激光回复表示,公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,今年有望实现小批量销售。

  据悉,大族激光是亚洲最大、世界排名前三的工业激光加工设备生产厂商,主要产品包括激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、新能源激光焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、工业机器人等多个系列200余种工业激光设备及智能装备解决方案。

  众所周知,高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断,一台精密光刻机售价上百亿,而我国半导体行业起步较晚,光刻机技术与ASML的差距非常大。而近年来,“国产芯片”概念炙手可热,其中光刻机作为中国半导体的短板,更是大众关注的焦点。目前,已有不少公司加大投入研发光刻机,努力填补我国在高端光刻机领域的空白。

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