SCA100T系列是基于3D MEMS的高精度双轴倾角传感器芯片,它提供了水平测量仪表级别的性能。双轴高精度倾角传感器芯片的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行,并且传感器双轴需相互垂直。低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让SCA100T-D01、SCA100T-D02高精度双轴倾角传感器芯片成为水平测量仪器的不二选择。VTI的倾角传感器对于振动不灵敏,因为他们都在传感元件内部增加了阻尼,并且能承受高达20,000g的机械冲击力

| 参数名称 | 条件 | SCA100T-D01 | SCA100T-D02 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 工作电压 | 4.75…5.25 | 4.75…5.25 | V | |
| 工作电流 | VDD=5V;无负载 | 4 | 4 | mA |
| 工作温度 | -40…125 | -40…125 | degC | |
| 测量量程 | +/-30 | +/-90 | 度 | |
| +/-0.5 | +/-1.0 | G | ||
| 频率响应 | -3dB | 8…28 | 8…28 | Hz |
| 零点输出 | 环比输出 | VDD/2 | VDD/2 | V |
| 零点校正误差 | +/-0.11 | +/-0.23 | 度 | |
| 零点数字输出 | 1024 | 1024 | LSB | |
| 灵敏度 | 4 | 2 | V/g | |
| 在0…1度范围内 | 70 | 35 | mV/度 | |
| 灵敏度校正误差 | +/-0.5 | +/-0.5 | % | |
| 数字灵敏度 | 1638 | 819 | LSB/g | |
| 零点温漂 | -25…85degC | +/-0.008 | +/-0.0008 | 度/degC |
| -40…85degC | +/-0.86 | +/-0.86 | 度 | |
| 灵敏度温漂 | -25…85degC | +/-0.014 | +/-0.014 | %/degC |
| -40…85degC | -2.5…+1 | -2.5…+1 | % | |
| 线性度 | 测量范围内 | +/-0.11 | +/-0.57 | 度 |
| 数字分辨率 | 11 | 11 | Bits | |
| 在0…1范围内 | 0.035 | 0.07 | 度/LSB | |
| 噪声密度 | DC…100Hz | 0.0008 | 0.0008 | 度/√Hz |
| 模拟输出分辨率 | 带宽10Hz | 0.0025 | 0.0025 | 度 |
| 环比误差 | VDD=4.75…5.25V | +/-1 | +/-1 | % |
| 交叉灵敏度 | 最大值 | 4 | 4 | % |
| 长期稳定性 | <0.014 | <0.014 | 度 |

VTI SCA100T双轴倾角传感器同时支持串行外周接口(SPI)和电压输出两种方式。

SCA100T高精度双轴倾角传感器芯片外观结构如下图所示:




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